Sensor Tekanan Piezoresistif
Pengukur regangan resistansi adalah salah satu komponen utama sensor regangan piezoresistif. Prinsip kerja pengukur regangan resistansi logam didasarkan pada fenomena bahwa resistansi pengukur regangan yang teradsorpsi pada substrat berubah seiring dengan deformasi mekanis, yang biasa dikenal dengan efek regangan resistansi.
Sensor Tekanan Keramik
Sensor tekanan keramik didasarkan pada efek piezoresistif. Tekanan bekerja langsung pada permukaan depan diafragma keramik, menyebabkan sedikit deformasi. Resistor film-tebal dicetak di bagian belakang diafragma keramik, membentuk jembatan Wheatstone. Karena efek piezoresistif dari resistor piezoresistif, jembatan menghasilkan sinyal tegangan linier tinggi yang sebanding dengan tekanan dan juga sebanding dengan tegangan eksitasi. Sinyal standar dikalibrasi ke 2,0/3,0/3,3 mV/V, dll., bergantung pada rentang tekanan, dan kompatibel dengan sensor pengukur regangan.
Sensor Tekanan Silikon Tersebar
Prinsip kerja sensor tekanan silikon terdifusi juga didasarkan pada efek piezoresistif. Dengan menggunakan prinsip ini, tekanan media yang diukur bekerja langsung pada diafragma sensor (baja tahan karat atau keramik), menyebabkan perpindahan mikro-diafragma sebanding dengan tekanan media. Hal ini mengakibatkan perubahan resistansi sensor. Sirkuit elektronik mendeteksi perubahan ini dan mengeluarkan sinyal pengukuran standar yang sesuai dengan tekanan tersebut.
Sensor Tekanan Safir
Memanfaatkan prinsip pengukur regangan, sensor ini menggunakan silikon-safir sebagai elemen penginderaan semikonduktor, yang memiliki karakteristik metrologi tak tertandingi. Oleh karena itu, elemen penginderaan semikonduktor yang terbuat dari silikon-safir tidak sensitif terhadap perubahan suhu dan menunjukkan karakteristik pengoperasian yang sangat baik bahkan pada suhu tinggi; safir memiliki ketahanan radiasi yang kuat; lebih jauh lagi, elemen penginderaan semikonduktor silikon-safir tidak memiliki penyimpangan p-n.
Sensor Tekanan piezoelektrik
Efek piezoelektrik merupakan prinsip kerja utama sensor piezoelektrik. Sensor piezoelektrik tidak dapat digunakan untuk pengukuran statis karena muatan setelah gaya eksternal diterapkan hanya dipertahankan ketika rangkaian memiliki impedansi masukan tak terbatas. Karena kenyataannya tidak demikian, sensor piezoelektrik hanya dapat mengukur tegangan dinamis.